電流-電壓測(cè)量功能
5 pA – 1 A 和 100 μV – 200 V 精準(zhǔn)測(cè)量范圍
點(diǎn)測(cè)量和掃描測(cè)量功能
脈沖點(diǎn)測(cè)量和掃描測(cè)量,最小脈寬達(dá) 500 μs
EasyEXPERT group+ 軟件
可以在用戶 PC 上提供表征環(huán)境
使用鍵盤和鼠標(biāo),通過(guò)直觀的圖形用戶界面(GUI)進(jìn)行操作
多種測(cè)量模式,快速設(shè)置和執(zhí)行測(cè)量(應(yīng)用測(cè)試、典型測(cè)試和快速測(cè)試)
圖形顯示和自動(dòng)分析功能,能夠生成數(shù)據(jù)并導(dǎo)入 Excel 和圖像以便分析和報(bào)告
E5260A 硬件
測(cè)量模塊擁有多達(dá) 8 個(gè)插槽,可配置,可升級(jí)
SMU 可選擇中等功率 SMU(MPSMU)和大功率 SMU(HPSMU)進(jìn)行配置
提供高速模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換器(ADC)
主機(jī)中配備有源接地單元(GNDU),以施加 0 V 電壓和吸收高達(dá) 4 A 的電流
Keysight E5260A IV 分析儀是適合對(duì)各種材料和器件進(jìn)行電流-電壓表征的完整解決方案。E5260A 支持多個(gè) SMU(電源/監(jiān)測(cè)單元),能夠執(zhí)行電壓/電流供應(yīng)和電壓/電流測(cè)量,且具有卓越的電流測(cè)量性能,可測(cè)量最小 5 pA 的電流。其模塊化體系結(jié)構(gòu)使您可以利用 8 個(gè)插槽配置或升級(jí) SMU 模塊。圖形用戶界面的 EasyEXPERT group+ 表征軟件可以安裝在您的 PC 上,以支持表征中要求的所有任務(wù),例如測(cè)量設(shè)置和數(shù)據(jù)分析。SMU 全面的測(cè)量功能與 GUI 表征軟件強(qiáng)強(qiáng)組合,使 E5260A 成為表征和測(cè)試器件、材料、半導(dǎo)體、有源 / 無(wú)源器件或幾乎任何其他類型電子器件的理想解決方案,并且提供卓越的測(cè)量可靠性和效率。
Keysight EasyEXPERT group+ 軟件支持在整個(gè)表征過(guò)程中(從測(cè)量設(shè)置和執(zhí)行,到結(jié)果分析和數(shù)據(jù)管理),通過(guò)交互式的手動(dòng)操作或借助半自動(dòng)晶圓探頭的自動(dòng)操作,在整個(gè)晶圓上實(shí)施高效和可重復(fù)的器件表征。EasyEXPERT group+ 配備了許多易于使用的測(cè)量(應(yīng)用測(cè)試),使您可以快速而輕松執(zhí)行電流-電壓表征,并可以選擇在每次測(cè)量結(jié)束后將測(cè)試條件和測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)保存到獨(dú)有的內(nèi)置數(shù)據(jù)庫(kù)(工作區(qū))中,以確保不會(huì)遺失重要的信息以及在日后能夠重復(fù)執(zhí)行該測(cè)量。憑借這些全面的測(cè)量功能,Keysight E5260A 提供了完整的電流-電壓表征解決方案。
除了用作分析儀之外,E5260A 還可以作為系統(tǒng)組件 SMU 在機(jī)架和插拔式(stuck)測(cè)試系統(tǒng)中使用。它為電流-電壓測(cè)量提供了出色的可擴(kuò)展性和高吞吐量。您可以用 FLEX 命令集對(duì)它進(jìn)行遠(yuǎn)程控制,該命令集支持強(qiáng)大的測(cè)量功能。