規(guī)格機(jī)種マスフローメータマスフローコントローラ標(biāo)準(zhǔn)レンジ低価格品汎用品低価格品汎用品制御範(fàn)囲MF1121BMF1111BMF1171B（NC）MF1181B（NO）MF1141B（NC）MF1151B（NO）精度定格0～5 SCCM 0～100 SCCM 0～2 SLM0～10 〃 0～200 〃 0～3 〃0～20 〃 0～300 〃 0～5 〃0～30 〃 0～500 〃 0～10 〃0～50
| 機(jī)種 | マスフローメータ | マスフローコントローラ | ||
|---|---|---|---|---|
| 標(biāo)準(zhǔn)レンジ | 低価格品 | 汎用品 | 低価格品 | 汎用品 |
| 制御範(fàn)囲 | MF1121B | MF1111B | MF1171B（NC） MF1181B（NO） | MF1141B（NC） MF1151B（NO） |
| 精度定格 | 0～5 SCCM 0～100 SCCM 0～2 SLM 0～10 〃 0～200 〃 0～3 〃 0～20 〃 0～300 〃 0～5 〃 0～30 〃 0～500 〃 0～10 〃 0～50 〃 0～1,000 〃 0～20 〃 | 0.1～5 SCCM 2～100 SCCM 0.04～2 SLM 0.2～10 〃 4～200 〃 0.06～3 〃 0.4～20 〃 6～300 〃 0.1～5 〃 0.6～30 〃 10～500 〃 0.2～10 〃 1.0～50 〃 20～1,000 〃 0.4～20 〃 | ||
| 制御範(fàn)囲 | － | 2～100%F.S | ||
| 精度定格 | ±2%FS以下 | ±1.5%FS以下 | ±2%FS以下 | ±1.5%FS以下 |
| 直線性 | ±1%FS以下 | ±0.7%FS以下 | ±1%FS以下 | ±0.7%FS以下 |
| 再現(xiàn)性 | ±0.2%FS以下 | ±0.2%FS以下 | ±0.2%FS以下 | ±0.2%FS以下 |
| 応答時(shí)間 | 出力電圧が設(shè)定値の±2%F.S.以內(nèi)への収束時(shí)間約3秒以內(nèi) | |||
| 最高動作圧力 | 1.0MPa | |||
| 耐圧 | 1.5MPa | |||
| 圧力損失 | 5.0kPa | |||
| 動作差圧 | － | 5SCCM～5SLM ： 34～275kPa 10～20SLM ： 69～275kPa | ||
| 流量設(shè)定 | － | 0～5V DC | 0～5V DC（標(biāo)準(zhǔn)） 1～5V DC（オプション） | |
| 出力信號 | 0～5V DC | 0～5V DC（標(biāo)準(zhǔn)） 1～5V DC（オプション） | ||
| 使用溫度範(fàn)囲 | 5～45℃（ガス溫度も同じ） | |||
| 取付姿勢誤差 | ±0.5%FS以下（取り付け姿勢は自由） | |||
| リーク規(guī)格 | 1.013×10-9?m3/s(He)以下（標(biāo)準(zhǔn)） | |||
| 配管接続 | 1/4 スウェージロック（標(biāo)準(zhǔn)）， VCR（オプション） | |||
| 接ガス部材質(zhì) | SUS316，フッ素ゴム | SUS316，フッ素ゴム，フッ素樹脂 | ||
| 質(zhì)量 | 約680g | 約800g | ||
| 消費(fèi)電力 | 1VA以下 | 3VA以下 | ||
大倉電機(jī)株式會社成立于 1933 年 7 月，當(dāng)時(shí)名為 "大倉電機(jī)研究所"，是衡美計(jì)算衡器株式會社的姊妹公司。
1943 年 12 月，公司更名為現(xiàn)在的大倉電機(jī)株式會社。
2018 年 5 月，公司獲得 ISO 14001:2015 認(rèn)證，成為一家同樣致力于加強(qiáng)質(zhì)量的公司。
公司的主要業(yè)務(wù)是制造和銷售工業(yè)設(shè)備、控制和通信設(shè)備以及半導(dǎo)體制造設(shè)備。
公司活躍在工業(yè)設(shè)備、電力和供水等社會基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)、熱處理設(shè)備等廣泛領(lǐng)域。
大倉電機(jī)株式會社以 "測量、通信和控制 "技術(shù)為基礎(chǔ)，不斷生產(chǎn)出讓客戶感到信賴和滿意的產(chǎn)品。