特點(diǎn)
經(jīng)濟(jì)型等離子清洗機(jī)。
簡(jiǎn)單的等離子處理操作。
無需高頻使用申請(qǐng)。
規(guī)格
型號(hào) | PM110C |
等離子發(fā)生源 | 低頻高電壓電源，輸出約50W，周波數(shù)60KHz、輸出電壓10KV |
電極構(gòu)造 | 電容型2分割 |
氣體流量計(jì) | 氧氣用、流量30~300mL/min |
真空調(diào)整閥門 | 抽真空用，回大氣用 |
反應(yīng)腔尺寸 | 腔體尺寸Φ100xL160mm |
外形尺寸（寬x深x高） | 310x300x448 |
電源50/60Hz | AC220V 10A |
真空泵接口 | KF25(推薦真空泵排氣速度30L/min) |
氣體接口 | 外徑Φ6.35mm |