Aera FC-R7800系列質量流量控制器 金屬密封型 Hitachi Metals日立金屬
高精度、高可靠性金屬密封MFC FC-R7800系列不僅提供高精度的流量控制，而且由于采用金屬密封，因此具有出色的氣密性，使其成為適合主要氣體控制應用的系統(tǒng)。 行業(yè)標準或 Aera 專有電氣連接的選擇提供了便利，并允許快速輕松地更換現(xiàn)有質量流量控制器 (MFC)。
Aera MFC FC-R7800 系列的特點
高速響應 - 輸入設定值后，流量在 1 秒內穩(wěn)定
耐腐蝕設計
使用金屬密封
VCR 兼容連接
滿量程流量范圍從 10sccm 到 200slm
常閉或常開電磁控制閥
外部泄漏率 1x10-11Pa?m3/sec (He) 以下
產品選型
