Aera FC-DR980系列先進(jìn)的數(shù)字質(zhì)量流量控制器Hitachi Metals日立金屬
Aera MFC FC-DR980的特點(diǎn)可選擇的氣體和流量范圍 *模擬、模擬/數(shù)字、數(shù)字模式選擇壓電控制閥多種報警/診斷功能多種報警/診斷功能1x10-10氣密性金屬密封圈電解拋光、UHP 處理的接液表面* 兼容多氣體和多量程型號。
Aera MFC FC-DR980的特點(diǎn)
可選擇的氣體和流量范圍 *
模擬、模擬/數(shù)字、數(shù)字模式選擇
壓電控制閥
多種報警/診斷功能
多種報警/診斷功能
1x10-10氣密性金屬密封圈
電解拋光、UHP 處理的接液表面
* 兼容多氣體和多量程型號。
